MPS微探针台(Micro Probe Station)尺寸小、重量轻，具备变温测试及真空测试功能，适用于科研工作，也适用于与其他仪器联用，是一款非常有特点的微探针系统。

仪器特点：

• 工作距离短、尺寸小，带有视窗，可以与各种显微镜联用；
• 配备真空腔，有优异的气密性；
• 配备MFC工艺气路，可以通入多种微量气氛；
• 标准同轴或三轴接口，与各种主流电学测试仪表兼容；
• 多种变温手段，高精度温度控制：
• -40℃ ~ 200℃ (帕尔帖变温)；
• -40℃ ~ 170℃ (帕尔帖变温)；
• 室温 ~ 450℃ (陶瓷加热)；
• 室温 ~ 750℃ (陶瓷加热)；
• 77K ~ 300K (液氮变温)；

应用领域：

• 与拉曼光谱联用；
• 电致发光或荧光光谱测试(EL, PL)；
• 气体传感器(气敏测试)；
• 金属-绝缘体相变；
• 光电流扫描；
• I-V测试；
• 场效应晶体管测试；
• 热传导测试；
• 热磁滞研究；
• 铁电畴转换观测；
• 反射率测试；
• 霍尔效应测试；