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霍尔效应测试仪主要用于测量半导体材料的载流子浓度、迁移率、电阻率、霍尔系数、导电类型等重要参数,而这些参数是了解半导体材料电学特性必须预先掌控的,因此霍尔效应测试仪是理解和研究半导体材料电学特性的工具。
相比于传统的霍尔效应测试仪,光霍尔效应测试仪可以通过改变照射在样品上的不同波长的光源(红、绿、蓝光源)及光源辐照强度,得到载流子浓度、迁移率、电阻率及霍尔系数等半导体电学重要参数随光辐照强度变化的曲线。ECOPIA公司的HMS-7000光霍尔效应测量系统由恒电流源、范德堡法则终端转换器、光源及光路系统及磁场强度输入系统组成。
光学模块
HMS-7000光霍尔效应测试仪软件界面
通过HMS-7000主机及霍尔效应测试仪软件控制光源及马达自动完成测试,并绘制出载流子浓度、迁移率、电阻率及霍尔系数随光源强度变化的曲线如下: