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GJTQ-B气浮式工件台
1.技术参数
l X向粗动行程：150mm、250mm等并可定制
l Y向粗动行程：150mm、250mm等并可定制
l Z向粗动行程：3mm
l θx向粗动行程：±0.6°
l θy向粗动行程：±0.6°
l θz向粗动行程：±0.3″
l X向微动行程：40μm
l Y向微动行程：40μm
l Z向微动行程：20μm
l θx向微动行程： ±25″
l θy向微动行程：±25″
l θz向微动行程： ±1.5′
l X重复定位精度：±300nm（±3σ）
l Y重复定位精度：±300nm（±3σ）
l Z重复定位精度：±300nm（±3σ）
l 分辨力：1.2nm
l 运动偏摆：＜1″
l 运动速度：500mm/s
l 气浮刚度：1000N/μm
l 方镜正交性：：≤0.1″
2.配置
（1）机械系统
l 直线电机3个：荷兰Tecnotion公司产品（美国Parker公司产品可选）
l 伺服电机3个：瑞士Maxon公司产品
l 压电陶瓷驱动器6个：德国PI公司产品
l 光栅6套：奥地利RS公司产品
l 液压缓冲器6个：日本SMC公司产品
l 双频激光干涉仪1套：英国Renishaw公司产品
l 大理石基座1个(双零级)
l 大理石导向调石1根(双零级)
l 直线电机动子连接板3个（航天超硬铝，7050）
l 对冲式导向气浮垫8个
l X向气浮导轨1根（航天超硬铝，7050）
l Y向气浮导轨2根（航天超硬铝，7050）
l Z向承重气浮导轨1根：自主研制的无摩擦、高刚度气浮导轨
l Y向导向横梁1根（航天超硬铝，7050）
l Z向导向簧片1个
l 微动垂向簧片1个
l 微动台基座1个（航天超硬铝，7050）
l 凸轮驱动机构3套
l 真空预载气足1个
l 工作台面1个（航天超硬铝，7050）
l 三自由度柔性铰链1个
l 精密方镜1个
l 限位开关4个
l 气路系统1套
l 线缆盒2个
（2）电控系统
l 高性能多轴运动控制卡
l 运动控制卡可控制1-3轴伺服电机、步进电机
l 运动控制卡可提供3路模拟控制信号和3路脉冲+方向控制信号
l 运动控制卡集成PCI和RS-232通讯接口
l 运动控制卡集成光栅计数测量模块，可接收20MHz编码器信号
l 模块化开关电源适配器
l 高精度零位检测系统
l 高可靠软硬件限位保护系统
l 抗干扰、高可靠复位电路系统
l 便携式手提控制箱
l 采用屏蔽双绞线缆，有效抑制静电感应及电磁干扰。
（3）软件系统
l 人性化计算机控制界面程序（提供安装光盘，可定制）
l 高精度位置伺服复合控制程序
（4）附件
l 产品操作说明书（同时提供电子版）
2.配置
l 导轨：自主研制的无摩擦、高刚度气浮导轨(气浮刚度达1000N/μm以上)
l 电机：荷兰Tecnotion公司直线电机，美国Parker公司直线电机，瑞士Maxon公司伺服电机，德国PI公司压电陶瓷。
l 光栅：奥地利RS公司光栅，安捷伦双频激光干涉仪
