全自动晶圆曝光机UH204是Ultron Systems紫外线固化机,作为全自动UV曝光设备,具有高效率和成本效益。固化时间非常快,与其他UV固化系统相当,同时保持UV曝光均匀性。固化采用了一种冷光源UV-a 365nm工艺，以及一种环保、无臭氧的UV灯阵列。
全自动晶圆曝光机特征：
-全自动单盒操作系统
-最多8英寸（200mm）晶片容量，包括6英寸或8英寸薄膜框架适配器
-自动扫描功能检测暗盒载体中是否存在胶片框
-环保型无臭氧紫外线灯
-快速固化时间
-易于编程的微处理器控制器
-可重复、可靠的单盒操作
-的成本/性能价值
-低温UVA 365nm固化工艺

-高效节能

-石英玻璃窗

-灯强度测量端口