激光掺杂设备
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武汉帝尔激光科技股份有限公司
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激光系统用于磷掺杂选择性扩散工艺,可支持离线或在线两种生产方式；
设备空间布局紧凑，设备占地尺寸小、结构简单、调试方便、标准化模块设计、兼容互换性强；
可提供两激光、三激光、四激光等多种生产方式，从而实现低产能至高产能的全面化覆盖；
采用主机与接驳台两部分构成，可实现人工手动上下料以及AGV自动上下料，以满足客户不同的上料需求；
可与现有市场上所有品牌的印刷机直接对接，兼容性和灵活性高；
该支持AOI检测、硅片翻面、方阻检测等功能扩展；
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