倍率

Direct magnification:  x25 to 1,000,000（120 x 90 mm）
Display magnification:  x75 to 3,000,000（1,280 x 960 pixels）

加速电压

0.1 ～ 30 kV

探针电流

数 pA ～ 200 nA

电子枪

浸没式肖特基场发射电子枪

透镜系统

聚光镜（CL）、  光阑角控制镜（ACL）、  半浸没式物镜（OL）

样品台

全对中测角样品台、5轴马达驱动

电子检测器系列

高位检测器、　r‐过滤器　内置、  低位检测器

自动功能

自动聚焦、自动消象散、自动亮度/衬度调节

图像观察用
液晶显示器

屏幕尺寸 23英寸宽屏
 分辨率　1,920 × 1,080像素

抽真空系统

电子枪室／中间室　SIP 离子泵
样品室　TMP 分子泵