检测设备

Taylor Hobson PGI Optics、Taylor Hobson CCI 2000

Zygo VeriFire PE、Zygo Newview 8200、日立 SU 1510扫描电子显微镜

有色金属制造案例

基于铝、铜等有色金属材料，开展传统光学元件，微结构元件，自由曲面光学元件的高精度制造技术研究。

红外光学元件制造案例

基于常用红外材料，研究传统光学元件的车削加工工艺，实现亚微米量级的面形精度和纳米量级的表面粗糙度的制造技术。

光学塑料元件制造案例

基于TPX、PMMA等光学塑料，研究传统光学元件、自由曲面光学元件的加工工艺，满足太赫兹领域、可见光领域的系统要求。

微结构光学、自由曲面光学等元件制造案例

Fly-cutting加工微米尺寸金属材料金字塔结构模具（SEM检测结果）

另外还有针对不同材料，对离轴面，双锥面，多项式面等自由曲面光学元件的制造技术进行相应研究。

铝基，金字塔阵列，口径12.7mm; 铝基，离轴抛物面， Φ 50mm；异性抛物面镜，Φ170mm；  纯铝，圆棒，L板Ra=30±3nm