一、设备外观

二、设备参数

夹具：

针对不同测量专用夹具适合范围：测量玻璃，硅片，薄膜等透明或半透明物体的位移与厚度。可测量非透明物体。精度5nm（采样频率可达10k赫兹；一个控制器最多同时连接4个探头。可测量夹层玻璃，可同时测量10层。双频率模式，可准确测量上下表面反射率不一样的玻璃。对不同反射率的产品，可以自动调节光照强度，保证测量数据准确。高精度，高分辨率。20多种探头，满足几乎所有行业的测量需求，且使用寿命长。

三、设备优势
1、产品大小通用：可测量200x150mm范围以内零件，以可根据被测件大小定制更大规格的机型；
2、测量产品间距可调：测量范围根据工作大小任意可调，多个激光测头可以在X和Y方向上智能调整间距；
3、无损伤测量：激光非接触式测量，保护工件免受划痕；
4、测量精密度：测量范围内重复精度小于0.005mm，检测平整度精度0.01mm；
5、测量方式多样化：可实现对平面的多点扫描或线扫描，一次性数据采集后通过专业软件计算，实时给出平面度平整度，翘曲度等测量判定,检测速度0.5秒/点；
6、操作方便简单，无需专业培训。