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产品概述:
操作简易,功能强大
新型并且功能强大的 FE-SEM,集超高分辨率成像和强化的分析功能于一体。
产品特点:
一般数据 | |
SEI 分辨率 | 1.5 nm(1 kV)(在GB 模式下),1.0 nm(15 kV) |
放大倍数 | 25 到 1,000,000x |
加速电压 | 0.1 到 30 kV |
束流 | 1 pA 到 200 nA(15 kV时) |
光阑角控制镜 | 内置 |
探测器 | 上方和下方探测器 |
能量过滤器 | 新型γ过滤器 |
柔和光束 | 内置 |
数字图像 | 1,280 x 960,2,560 x 1,920, 5,120 x 3,840 |
样品交换室 | 单步加载/卸载 |
样品台 | 全对中,5轴马达驱动 |
类型 | IA | II | III |
X-Y | 70 mm x 50 mm | 110 mm x 80 mm | 140 mm x 80 mm |
倾斜 | -5 到 +70° | ||
旋转 | 360° | ||
工作距离 | 1.5 mm 到 25 mm | ||
真空系统 | 2 SIPs,磁悬浮轴承 TMP、RP | ||
节能设计 | 正常运行:1.2 kVA 休眠模式:1 kVA 操作系统关闭(OFF):0.76 kVA |