益处
- 测量范围广,从 1 x 10-9 至 1 x 10-2 毫巴(7.5 x 10-10 至 7.5 x 10-3 托)
- 全金属冷阴极传感器(潘宁),带陶瓷馈入装置
- 创新的电极几何形状提供的点火属性
- 等离子点火后降低的高压和钛阴极板可减少污染危险,即使在有氩气的溅射运行中
- 阳极环和钛阴极可轻松进行清洁或更换
- 最小化真空计附近的磁场强度
- 用于电源接通和等离子体点火的 LED 指示器
- 对数模拟输出信号
- 现场总线接口(Profibus DP、DeviceNet)允许使用网络通信将真空计轻松集成到真空系统中
典型应用
- 高真空压力监控
- 蒸发溅射系统
- 高真空范围内的一般真空测量和控制