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MEMS超声波传感器芯片及阵列：
基于MEMS工艺开发，具有尺寸小、功耗低、可靠性好、一致性高、可阵列化的优点；
可广泛应用于汽车近距探测和泊车辅助、智能机器人的测距避障、无人机的近地高度测量、工业产品的液位和流量测量等场合，具有广阔的市场前景。
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MEMS超声波传感器性能指标：
主要参数 | 本项目产品 |
尺寸 | 裸芯6.8mm×6.8mm |
谐振频率 | 300kHz |
工作电压 | 4~8Vp-p |
接收电路增益 | 60dB（1000倍） |
检测分辨率 | 0.1mm |
检测距离 | 1~3m |
指向性 | 7.7° |
