生产规格

Specification

1

电路板尺寸 Panel Size

200mm×200mm-630mm×810mm

2

电路板厚度 Thickness Panel

0.03mm-5.00mm

工作台面

Workbench

3

台面数量 Workbench

单台面 Single Workbench

4

对位方式 Alignment Mode

双CCD对位 Double CCDs Alignment

光学系统

Optical System

5

光源种类 Light Type

光纤雷射器 (LD) Laser Diodes 405±5nm

6

冷却方式 Cooling Mode

水冷 Water Cooling

7

光源规格 Light Power

80W

120W

8

光机数 O.S. Number

4

6

9

光斑均勻性 Illumination Uniformity

＞95%

10

感光焦深 DOF

±250um

生产能力Throughput

11

产能Throughput

光功率 Light Power

80W

120W

12

过板量(Sides) 24"*21"

20mj/cm2

219/h

265/h

13

90mj/cm2

140/h

185/h

14

120mj/cm2

119/h

158/h

15

含3秒上下板时间

16

每面过板時間Timespan/Side 24"*21"

20mj/cm2

13.3s

10.5s

17

90mj/cm2

22.1s

16.3s

18

120mj/cm2

27.1s

19.6s

19

不包含上下板时间

20

曝光能量 Resist Energy

≤1000mj/cm2

21

量产解析力 Mass Resolution

50um/50um

22

感光材料类型 Resist Type

传统干膜、高感干膜

DryTraditional Dry Film. High Sensitive Dry Film

23

无孔对位精度

No-hole Alignment Precision

24um

24

对位精度 Alignment Precision

±12um

控制系統Control System

25

作业系统 Operation System

Win10

26

控制方式 Control System

工业级电脑 IPC(Industrial PC)

27

软体操作语言 Culture

中文/英文 Chinese/English

生产及环境需求Environment Requirement

28

翻板方式 Flip Mode

左右翻板 Flip Left to Right

29

涨缩管控 Scale Mode

固定涨缩、自动涨缩、管控预警

Fixed, Automatic, JE/PE Control

30

档案格式 CAM Format

Gerber 274X/274D/TIFF/DXF/ODB++(Optional)

31

靠齐方式 Alignment Mode

左下靠齐 Left-Bottom

32

室內照明 Clean Room

黃光万级 / Clean Room10000 Level

33

环境温度 Temperature

22±2℃

34

环境湿度 Humidity

50±10%RH

机台外型

Profile

35

机台尺寸 Length*Width*Height

2500mm×1562mm×1638mm

36

机台重量 Weight

3500kg

37

外壳材质 Enclosure Material

不锈钢外壳 Stainless Steel

输入需求

Input Requirement

38

电力需求 Electric Condition

AC380V±5%/50-60Hz/25A/三相四线

AC380V±5%/50-60Hz/25A/Three-phase four-wire

39

气源需求 Air Condition

正 压 6kg/cm²/ 管 径 (φ) 6mm Pressure Positive 6kg/cm² / Pipe(φ) 6mm