无磁光学平台
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北京江云光电科技有限公司
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Y700HB无磁光学平台
采用优质无磁304,316不锈钢，平台台面及支撑整体均不含磁性。
l 空气机气源，噪声低（小于65分贝）
l 平面度：< 0.05mm/m2
l 表面粗糙度：< 0.8μm
l 固有频率：垂直1.2Hz～1.8Hz,水平1.2Hz～1.8Hz
l 振幅：< 1.2μm
l 重复定位精度：+0.05mm
l 空气压力：0.2-0.6（Mpa）
l 荷载能力： 800kg/m2
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