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SS150系列扫描电子显微镜
一、 产品命名规则：
SS-150系列产品 放大倍率为15万倍，相比于SS60系列产品，电子枪体部分略有不同，并且增加了四级可变光阑，能得到更小分辨率5nm，配置SE二次电子探测器与BSE背散射电子探测器，载物平台可配置三轴（X,Y,R）手动平台，也可升级为五轴（X,Y,R,Z,T）自动平台，全系列产品均可配置EDS能谱分析仪，产品包括如下配置：
Item | Model | With Detector Option | WithStage Option |
Mini-SEM | SS-150 | SS-150S | SS-150S-MS |
SS-150D | SS-150D-MS | ||
SS-150D-ST |
二、简单说明：(Description)
- 放大倍率15万倍（Magnification Max 150,000x）
- 图像景深高，立体感强，分辨率高
Image depth of field high, 3D sense strong, high resolution
- 载物台5轴操控（倾斜功能）
5-axis System ， X, Y-axis : 35mm / R-axis : 360°, Z : 0~22mm / Tilt-axis : 0~45°
- 配备四级可变光阑（30,50,50,100μm），通过调整电子束大小可提供高分辨率图像
4 step variable sleeve aperture, High-resolution images can be provided by adjusting the beam size
- 自动变焦，自动调整对比度和亮度，调整电子束尺寸，消象散
Automatic focus, automaticallyadjust the contrast and brightness, adjust the electron beam size, eliminateastigmatism
- 样品舱大，可进行多种样品分析，可选配EDS，BSE，马达操控载物台等多种配件
Large sample chamber，To observe a wide variety of sample ,Optional EDS, BSE, motor control stageａnd other accessories
三，技术参数：(Productspecifications)
分辨率（Resolution） | 5nm (30kV, SE Image) | |
放大倍率（Magnification） | 30x~150,000x | |
加速电压（Accelerating Voltage） | 1kV to 30kV (1kV/5kV/10kV/15kV/20kV/30Kv-6step) | |
图像检测（Signal Detection） | 二次电子图像-(SEI)-Secondary Electron Image | |
背散射电子图像(选配) (BSEI)-Backscattered Electron Image(Option) | ||
观察模式 Observation mode | Standard Mode | |
电子枪系统（Electron Gun） | ||
灯丝类型（Filament type） | 预对中钨灯丝（Pre CenteredtungstenfilamentCartridge） | |
偏压系统(Bias voltage system) | 自动偏压方式（Automatic mode） | |
电子枪校正（Electron gun alignment） | 手动方式（Manual mode） | |
透镜构成（Lens system） | ||
聚光镜（Focus Lens） | ||
