KS-FT200/300 前道8/12寸涂胶显影机
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沈阳芯源微电子设备股份有限公司
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1. 堆叠式高产能架构,占地面积小 2. 可与光刻机联机,满足工厂自动化需求 3. 配备多段回吸的多腔体共用供胶系统,有效节省光刻胶的用量 4. 选配高精度热板、WEE、AOI等单元部件,满足更高标准工艺需求 5. 核心单元模块化设计,组合方式灵活多变,限度客制化
● 逻辑电路 ● CMOS射频电路 ● 功率器件 ● MEMS系统级芯片 ● 闪存内存 ● CIS ● 驱动芯片 ● OLED等
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