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全自动显影机

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芯米（厦门）半导体设备有限公司

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产品简介

2C全自动显影机 XMCA-800A

基片尺寸

ψ50mm～ψ200mm

Cassette 晶舟

2-4个晶舟

Coater Unit 涂胶单元

1、PR类型：正胶/ 负胶；2、光刻胶喷头 2 ~ 4 个； 3、EBR ( Edge Bead Remover )； 4、马达旋转速度 Max. 6,000rpm； 5、高精度定量泵浦≦0.1cc ( 100cp以下)

Robot Arm 机械手臂

3轴; X1, X2, X3

Hot Plate热盘单元

溫度50℃-180℃

Cooling Plate冷盘单元

溫度18-28℃

显影机基片尺寸

ψ50mm～ψ300mm

Developer 显影单元

1、可应用喷头 Spray, Stream, E2 , H ；2、马达旋转速度 Max. 5,000rpm

显影机台尺寸

D(1200+1820)XW1700XH2300(mm)

联系方式

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