一般工作距离可调，距离越近，溅射速度越快，但热损伤会增加。离子流的大小通过控制真空压力实现，真空度越低，I越大，溅射速度越快，原子结晶晶粒越粗，电子轰击样品（阳极）产生的热量越高；真空度越高,I 越小，溅射速度越慢，原子结晶晶粒越细小，电子轰击样品产生的热量小。加速电压为固定,也有可调的，加速电压越高，对样品热损伤越大。一般使用金属靶材的正比区域。有些热敏样品，需要对样品区进行冷却，水冷或者帕尔贴冷却；也可以采用磁控装置，像电磁透镜一样把电子偏离样品。经过这样的改造，当然会增加很高的成本。可以在石蜡表面溅射一层金属，而没有任何损伤！真空中的杂质越多，镀膜质量越差。一般黄金比较稳定，可以采用空气作为等离子气源，而其他很多靶材则需要惰性气体为好。气体原子序数越高，动量越大，溅射越快，但晶粒会较粗，连续成膜的膜层较厚。保持真空室的洁净对高质量的镀膜有很大好处。不要让机械真空泵长期保持极限真空，否则容易反油。

1.主机规格：340mm×390mm×300mm（W×D×H）

2.靶（上部电极）：金：50mm×0.1mm（D×H）

3.靶材：Au（标配）

4.样品室：硼硅酸盐玻璃160mm×120mm（D×H）

5.靶材尺寸：Ф50mm    

6.真空指示表： 真空度：≤ 4X10-2   mbar

7.离子电流表： 电流：50mA

8.定时器：最长时间：1-360s

9.微型真空气阀：可连接φ3mm软管

10.可通入气体： 多种

11.电压：  -2800  DCV

12.机械泵：标准配置2L/S（国产VRD-8）

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