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(浙江有售)日本FUJI富士 底部填充剂 UF317H
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面议 接触方法 | 软性接触/ 硬性接触( 部分选配) |
对准精度 | 使用对物镜20×时<1.2μm(M-1S除外) |
对准显微镜 | 双视野显微镜 对物镜间隔18~60mm |
曝光波长 | 多频率(h.i.g线) |
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刷涂机、刮涂机、喷涂机
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对准曝光机
MA-10B、MA-20、MA-60F、M-1S、M-2LF、
旋转涂布机
MS-B100、MS-B150、MS-B200、MS-B300、MS-B200(密封)、MS-B300( 密封)
显影刻蚀装置