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技术参数
技术参数 | Ra、Rz=Ry(JIS)、Rq、Rt=Rmax、Rp、Rv、R3z、R3y、Rz(JIS)、Rs、Rsk、Rku、Rsm、Rmr 增加Rpc、Rk、 Rpk、Rvk、Mr1、Mr2 | ||
传感器 | 测量原理 | 电感式 | |
测量范围 | Z轴(垂直)160μm / X轴(水平)17.5mm(0.71inch) | ||
针尖半径 | 5μm针尖半径 | ||
针尖材料 | 天然金刚石 | ||
触针测力 | 4mN | ||
触针角度 | 90° | ||
导头纵向半径 | 45mm | ||
驱动行程 | 17.5 | ||
量程和分辨力 | ±20μm | 0.01μm | |
±40μm | 0.02μm | ||
±80μm | 0.04μm | ||
滤波器 | RC、PC-RC、Gauss、D-P | ||
取样长度 | 0.25mm、0.8mm、2.5mm | ||
评定长度 | 1L~5L(可选,L为取样长度) | ||
示值误差 | ±10% | ||
示值重复性 | ≤6% | ||
工作环境 | 温度:-20ºC~40ºC 相对湿度:<90%RH | ||
外型尺寸及重量 | 主机:158x63.5x46mm,约300g; | ||
电源 | 内置电池:锂离子充电电池; 电源适配器:用DC5V,800mA充电器充电 | ||
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