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日本大晃无油真空泵

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产品简介

产品名称：产品型号：产品价格：16000 台

大晃开发的*形状的螺杆（），它低速转动连续排气，真空度可达到１０-1Pa，它可称为是划时代的干式真空泵。单级结构简单，易于保养和维修，在排除凝聚性气体，腐蚀性气体和反应生成物的半导体工艺中以及在硅单晶制造的抽真空等领域也发挥着威力。

排気速度：１０００～７８０００　L/min

到達真空度：１０-1　 Pa

口　　　径： Φ４０～ Φ２００　mm

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