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日本taiko大晃机械RMC系列真空泵
产品详细信息:
日本大晃机械taiko螺杆式干式真空泵,是采用独自的螺杆形状的干式真空泵,实现了螺杆泵的zui低转速,栋吸气到排气采用非接触单段压缩,其特点是可以高效地排除空气或煤气中所含有的粉尘雾粒,广泛用于半导体,液晶,太阳能电池,医药,化工等真空行业。
主要用途:
半导体制造工程
FPD制造工程
太阳能电池制造工程
产品规格如下:
TD 螺杆干式真空泵 650 to 3000 to 0.7
定序器控制型
RMC 机械式助力器 3500 to 20000 to 0.1
BEH 螺杆干式真空泵 7000 to 30000 to 0.08
TRIC 螺杆干式真空泵 30000 to 60000 to 0.08
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