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爱德华罗茨泵EH500维修
爱德华罗茨泵EH500功能和优势
适用于在 0.01 至 50 mbar/0.0075 至 37.5 Torr 的压力范围下、需要超过 3000 m3h-1/1776 ft3min-1的高抽速的应用场合。
它可在相对较低的压力环境下表现出更高的可靠性。
EH泵具有高质量的无油泵送机械装置。这可提供:
安静的无振动运行。
牢靠且防腐蚀。
*的轴封技术,处理舱中不会出现油污染
防腐型泵送机械装置采用高等级铸铁制造。
经验证的轴封布置可确保没有油进入泵送定子,并且由于不需要可能腐蚀或黏着的内部和外部旁通管道及阀门,因此可将维护要求降到zui低。
轴封的设计经过优化,可确保润滑剂无法进入泵送机械装置中。这可在需要zui高标准清洁程度的应用中保持增压泵性能。此外,这可防止在公差非常严格的转子叶和端面上堆积吸入的微粒。
动态平衡的转子和精密研磨齿轮有助于实现泵的平稳、运行噪音小,而这些特点正是*技术设备的制造商所需要的。
爱德华罗茨泵EH500的参数:
排量(工作容积):505 m3h-1/ 300 ft3min-1
泵的压力差:0-110 mbar/0-83 Torr
进气口连接:ISO100
出口连接:ISO63
转速:0-2900 rpm
电机功率:2.2 kW/3 hp
防爆:3 hp
工作:5 至 40°C/40 至 104°F
重量:74 kg/163 lb
爱德华罗茨真空泵EH500应用:
半导体制程
真空蒸馏
真空包装
钢脱气
薄膜覆层
真空冶金
低密度风洞
空间模拟
真空浸渍
油干燥和脱气
制药冷冻干燥
CO2激光
爱德华EH1200罗茨泵 增压泵维修包