扩散泵的工作原理。
九 气体捕集式真空泵
气体捕集式真空泵是利用物质表面的物理和化学吸附作用，清除系统空间的气体分子，从而获得*的真空度 , 并且得到清洁的真空环境。应用在空间技术、高能物理、微电子等*技术领域。这类泵有以下几种类型：
9.1 低温泵
低温泵的原理是：设法使某一固体表面温度足够低，使其低于空气中主要气体成分的饱和蒸汽压温度，则空气中的大部分气体被凝结。
实际使用上，是在泵的低温表面上粘贴固体吸附剂，这种泵叫做低温吸附泵。吸附剂可以是非金属 , 如活性碳、分子筛等 ; 也可以将蒸发或升华在冷面上的钛、锆、钼等金属或其合金作为吸附剂。另外 , 像二氧化碳、水蒸气这样易冷凝的气体 , 在低温表面被冷凝时，能将不易冷凝的气体（如氦）也一起埋葬或捕集吸附。
9.2 溅射离子泵
利用电磁场激发产生离子，离子在电场作用下轰击钛板，溅射出来的钛原子沉积在阳极筒和阴极板上，形成钛膜而吸气。
9.3 钛升华泵
用加热的办法使钛升华在一个冷却的表面上，对气体进行薄膜抽气的装置。

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