除电器Q&A集

Q 引起电子元件破坏的静电在哪里发生的？危险的静电在哪里发生的？

A zui成问题的是组装工序等的作业者带电。只要没有特别的对策，作业者很容易带数千伏的电。半导体元件根据种类在数十伏就被破坏，所以地面的导电化和穿带电防止服和防止靴就是必然的；但根据场合，对持有金属板等的人体防止带电方面需要引起细心的注意。其它方面，和塑料制的托盘及包装等的容器类的摩擦也会引起带电，所以需要对这些导电性的物品等的对策。

Q．操作半导体设备的工序，多使用送风式的除电器。此除电器使用方面的注意点是什么?

A 受除电器的离子风吹，因此很多情况是减弱送风、或者不直接操作半导体设备的工序，多使用送风式的除电器。此工序的作业者因为长时间离子风吹，为了有效使用送风式的除电器，需要注意此除电器的除电性能因送风强度而有很大的不同。即便在靠近除电距离d=300mm的距离，在zui小风速时，电位衰减也要用很长时间。另外，即便送风方向不好，要进行电子零件·设备的除电，必要的离子量不足也会使除电时间变长。因此，要使用送风式的除电器，使用时就需要一面用静电监视器确认除电效果和离子平衡，一面进行调节送风风向、送风强度的调节。

Q 辊子上卷绕的胶卷·纸等的带电防止、电击防止的对策是什?

A 辊子上卷绕的胶卷、纸等，不仅胶卷、纸带电，卷绕完的纸管、金属制的芯棒（管体）、及在附近作业的人体等也会带电。作为zui小必要限度的电击防止对策，是将纸管的金属部分、金属制的芯棒管体接地、防止导电性的地面·静电靴·带电防止作业服引起的人体的带电。进而，如果可能就应该通过送风式的除电器，用胶卷·纸等的除电·加湿器使环境的相对湿度提高到65%以上，以减少带电。受到电击这样的带电，并非只发生电击引起的故障，还会成为爆炸·火灾、电磁噪音、污染等所有故障的原因，所以，必须作到防止带电。

Q 设置除电器场合的*方法和注意点是什么?？

A 为了充分发挥除电器的除电效果，及为了防止装置的故障，设置除电器的场所的选定和安装是非常重要的1点。首先从除电效果的方面来说，设置除电电极的*位置是在紧靠因静电引发故障的场所。此场所，即便进行电位测定，也应该是记录高电位的地点。一般作?设置场所的*点是电位测定时表示高电位的地点。唯有带电物的电位高，才能吸引除电器所生成的离子，立即进行中和。其次，在装置的故障防止方面，不要忘记除电器是高电压装置的一种。设置时。请避开因水及油造成的污损的场所及高温、多湿、特别是结露的场所。另外，关于除电电极及高压电线的安装、配线，要考虑它们的绝缘情况，防止因泄漏电流引起的绝缘破坏，这是很重要的。

Q 交流电晕放电式除电器和直流电晕放电式除电器的不同点和使用上的注意点是什么？

A电晕放电式除电器是在除电电极的放电针上叠加高电压，在放电针集中电场，发生电晕放电，生成正·负的空气离子。根据电压的叠加方法，有交流方式和直流方式。两种方式的很大的不同点，在于交流方式中从1根放电针交替生成正·负的空气离子；而直流方式中则是从正极和负极各自的放电针分别连续生成正·负的空气离子。
另外，交流方式的除电电极由放电针和接地极构成，而直流方式则不要接地极，这也是不同点。交流方式中从同一根放电针生成正·负的空气离子，所以时间和空间的离子偏差少，另外随时间变化也少。这是它的特点。除电效果在近距离效果明显，在远距离的效果则稍低。另一方面，直流方式中则是同时、连续生成正·负的空气离子，所以即便是远距离，除电效果也很好。但是因正·负的放电针两相分离进行设置，所以在近距离，正·负的离子平衡在空间有偏差。放电针干净时，除电效果良好；放电针一旦污损，除电效果大大降低。另外，电晕放电由于正·负的极性使动作不同，在放电针的污损方面也有不同，所以正·负的离子平衡容易发生偏差，不能缺少频繁的清扫。

Q 清洁度为等级100程度的清洁房间，使用的静电除电器是那种方式是所希望的呢？

A 静电除电器分?电晕放电和光照放电。清洁度?等级100（1ft3 中的0.5μm以上的微粒子个数在100个以下）程度的清洁房间一般使用便宜的电晕放电式。电晕放电式是在针状或者钢丝状的电极上叠加高电压，将用电晕放电生成的空气离子通过清洁房间中的气流运送到带电物体进行除电。在清洁房间中使用此除电器时，必须考虑因放电极自身的老化?生的灰尘和附着在放电极部的空气中化学合成的固形物的飞散所形成的灰尘。放电极自身的老化可以通过采取用薄玻璃覆盖金属放电极的周围，或者在放电极的材质上利用晶体管及液晶基板上也有的硅的办法来防止。但是，即便使用这样的电极，也不能防止化学合成附着物的发生。在放置几个月的场合，要除去·清扫放电极部的固形附着物，这是*的。为了防止化学合成附着物的发生，除去水等的气状不纯物的清洁干空气作为覆盖层空气提供给除电器的放电部，这是很有效的。必须提供覆盖层空气供给装置，有与成本提高相关联的难点。

Q 对IC、LSI这样的大集成半导体线路直接发生静电放电，会使哪些电子设备遭到破坏。是哪种程度的带电引起破坏的呢？

A 如果对IC、LSI等直接发生静电放电，由于高电压加在内部的半导体线路，有时会主要由于热作用使半导体线路受到损伤。例如，在现在的主流MOS型半导体组件内部有厚度100μm程度的绝缘层的氧化膜，如果将80.100V 的电压叠加在其上，就会引起绝缘破坏?生导通，失去作为半导体组件的功能。实际上由于氧化膜的不*性，有时即便更低的电压也会造成破坏。其它的电子设备也如表所示，因为只有数十.数百V的耐电压性能，所以这种半导体组件由于静电放电很容易遭到破坏。