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高真空隔膜阀是利用阀杆将橡胶膜直接压在阀座上用来截止或接通真空系统。高真空隔膜阀适用的工作介质为空气及非腐蚀性气性.高真空隔膜阀是真空系统中，供切断或接通气流之用。

高真空隔膜阀适用范围：10 5 ～1.3x10 -4 Pa 
高真空隔膜阀漏气率：6.7x10 -4 Pa.L/S 
高真空隔膜阀介质温度： 
高真空隔膜阀隔膜为橡胶时－25℃～+80℃ 
隔膜为氟橡胶时－30℃～＋150℃

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