日本三丰台式轮廓仪

日本三丰台式轮廓仪

高精度**：该仪器具有非常高的测量精度，能够进行精确的表面轮廓分析。

- **高功能**：除了基本的轮廓测量外，还可能具备多种高级功能，例如数据分析和报告生成。

- **高可操作性**：设计友好，便于操作者使用。

- **Z1轴上的高精度弧形光栅尺**：这使得仪器可以直接读取测针沿弧形轨迹的移动，从而实现更高的精度和分辨力。

- **新型测臂**：配备了新型测臂以提高测量性能。

- **垂直方向连续测量**：可以进行垂直方向的连续测量，这对于测量内螺纹的有效直径等复杂几何特征特别有用。

- **X1轴测量范围**：提供100mm 或 200mm的不同选项。

- **X1轴分辨率**：至少达到0.05μm的级别。

- **16位A/D转换器**：提供出色的分辨率量程比，确保即使在大量程测量时也能保持高精度

技术参数

- **X1轴（驱动部）测量范围**：- 可选100mm或200mm。 

- **Z1轴（检出器）测量范围**：- 60mm（水平状态±30mm）。

- **Z1轴（检出器）测长单元**： - RT检出器。

- **Z1轴（检出器）分辨力**： - 0.04μm。

- **直线度（X轴水平姿势）**：  - 0.8μm/100mm。

- **指示精度**：

  - Z1轴（检出器）：±(1.4 + |2H| / 100) μm，其中H为测量高度（mm）。

  - X轴（驱动部）：±(0.8 + 0.01L) μm *1，其中L为驱动长度（mm）。

- **高精度弧形光栅尺**：

  - 直接读取测针顶端的圆弧轨道，减少由检测机构产生的误差，以达到高精度和高分辨力。

- **新型测臂**：

  - 新设计的直式测臂降低了对工件的干扰，并且能够扩大Z1轴测量范围至60mm。

  - 测臂安装部采用了磁性连接件，实现了快速更换。

  - 装卸部内置了安全结构。