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纳米级光学干涉测厚仪
应用: PET、PE、PMMA等薄膜·离型膜·沉积膜·金属表面漆膜涂层·膜涂层·塑料涂层
产品简介:
PSD-2000型在线纳米级光学膜厚仪利用光谱相干测量学,用于测量半导体制造过程中的薄膜厚度,以及安装在半导体制造设备上的APC和薄膜的质量控制,能够测量单层/多层/涂布层在不透光基板上的厚度,精准度可达纳米级。
PSD-2000型在线纳米级光学膜厚仪,其核心部件主要源自于美国Ocean Optics有限公司,其微型光谱仪体积小巧,可对全谱进行快速采集,产品应用广泛,可用于生化、光电、航空航天、环境保护、安全检测、农业等行业,可进行 Low-E玻璃镀膜检测,ITO玻璃镀膜检测,PET涂布在线膜厚检测,金属表面涂层检测,半导体,LCD膜厚检测等。
工作原理:分光干涉法
当光入射到样品内部,会发生多重反射现象,多重反射光会由于相互之间的相位差增强或减弱,而相位差取决于样品的折射率和光程,因此来自于样本的反射光谱与其厚度有直接关系。光谱干涉法就是利用这种的光谱分析出样品的厚度,该厚度测量仪器根据测试范围的不同主要使用曲线拟合和FFT两种方法对光谱进行分析。
应用范围:
•PET薄膜厚度测量
•涂层厚度测量,如HC,保护膜,光刻胶,OCA,离型膜等涂布厚度或克重的测量
•用于包装的PET表面介质膜克重或膜厚测量
•金属表面透明和半透明漆膜涂层
产品优势:
在线扫描式或多点测量(多达15点)同时测量
通过光强波动校正功能实现长时间稳定测量
提醒及警报功能(通过或失败)
反射(透射)和光谱测量
同步测量多层厚度
高速、高准确度
参数:
型号 | PSD-2000W | PSD-2000P | PSD-2000R |
可测膜厚范围 | 15 nm - 100 um | 2nm - 200 um | 200nm-3000um |
测量可重复性 | 0.02 μm | ||
测量准确 | ±1% | ||
光源 | 钨卤素灯 | ||
测量波长 | 380 - 1050 nm | 250 - 1050 nm | 900 - 1200 nm |
光斑尺寸 | 约φ1 mm | ||
工作距离 | 10 mm | ||
可测层数 | 最多10层 | ||
分析 | FFT 分析,拟合分析 | ||
测量时间 | 19 ms/点 | ||
外部控制功能 | Ethernet | ||
接口 | USB 2.0(主单元与电脑接口);RS-232C(光源与电脑接口) | ||
电源 | AC100 V — 240 V, 50 Hz/60 Hz | ||
功耗 | 约330W(2通道)~450W(15通道) |
PSD-200实验室型纳米级光学干涉测厚仪
用途:
·太阳能减反膜玻璃,TCO玻璃,Low-E玻璃,ITO玻璃,光学玻璃镀膜等测量。
·PET膜透明胶膜厚测量
·膜厚,颜色,粗糙度,透过率,反射率,雾度
·可用于实验室离线测量
技术水平:
·精度0.1%,达到国际同类产品水平
·检测透明和半透明涂层
·反射式太阳能玻璃的膜厚/折射率测量仪,具有测量速度快,测量准确,操作简便的特点。
技术参数:
产品类型 | 可见光 | 紫外+可见光 |
厚度测量 | 15nm-100μm | 1nm-100μm |
折射率 | 厚度要求100nm以上 | 厚度要求50nm以上 |
准确性 | 2nm或0.5% | |
精度 | 0.1nm | |
测量时间 | 小于1秒 | |
光斑大小 | 大约1mm |