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•定制化：可针对客户产品不同的激光调阻应用要求，提供具有较高价值的产品解决方案。
•调阻精度高：的测控技术，测量控制系统精度的一致性好，提升产品附加值；成品率高，单位成本下降。
•软件可编程：可轻松实现客户的不同需求以及高自动化运行，也可作为专门的测试平台，适应性广。
•使用成本低：采用了的激光器，无耗材，使用成本低，长期使用节约大量的费用。
•多功能：可实现陶瓷基片的激光划线、打标，减少设备的再投入。
•专业大理石基座，可有效减小工作台启动、停止和加速过程中产生的震动，同时保持机台温度的稳定性，可靠性高。
主要技术参数
激光系统 | 型号规格 | LT |
激光波长 | 1064nm | |
激光功率 | 10W | |
典型光斑尺寸 | 35±5µm | |
对焦方式 | 自动，计算机程序控制 | |
冷却方式 | 风冷 | |
激光束定位系统 | 激光束运动范围 | 60mm X 60mm |
运动分辨率 | 0.76µm | |
重复定位精度 | ±5µm | |
分步重复运动系统 | 运动方式 | 精密闭环XY平台 |
运动范围 | 300mm*300mm | |
重复定位精度 | ±10µm | |
运动速度（空载） | 180mm/s | |
测量系统 | 电阻测量方式 | 四线制测量或二线制测量 |
电阻测量精度 | 中阻 ± 0.05% | |
电阻测量范围 | 0.1Ω-100MΩ | |
测量速度 | 25µs/次 | |
零点及满程误差校正 | 自动校正 | |
探针定义 | 可编程任意设定 | |
探针板运动 | 自动，计算机程序控制 |
