焦距

TR 555：3×500mm

TR 557：2×500mm+750mm

TR 777：3×750mm

DM-33i：2×300mm

DM-55i：2×500mm

DM-77i：2×750mm

光学系统

加法和减法双C-T

具有高通量多光源系统的像差校正系统

杂散光抑制

10^-9或者更好

入口和出口狭缝的位置

180º标准的直射光学路径。可选择90º、或者是90º+180º光学路径

数值孔径

TR555: f/6.5

TR557: f/6.5

TR777: f/9.8

DM-33i: f/4

DM-55i: f/6.5

DM-77i: f/9.7

驱动步长

0.0025nm (nom. )

波长复现性

±0.025nm或者更好

狭缝组装

标准：入口和出口狭缝可双向调节，通过微米尺可在10µm到3mm之间调节。在两个阶段之间的狭缝可通过电脑在10µm—12mm之间调节，1µm的增量

选择1：双向入口和出口狭缝可调，电脑控制能在10µm 到3mm之间调节

选择2：双向入口和出口狭缝可调，电脑控制能在10µm到12mm之间调节