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本系统是集成keithley 2400/2600系列高精度源表和semishare Polaris 高低温平台采用范德堡尔法则设计的应用于高精度的测量半导体材料的载流子类型(P型/N型),载流子浓度,迁移率,电阻率,霍尔系数等参数。能够适用于 Si,SiGe,SiC,GaAs,InGaAs,InP,GaN等各种材料。
特点
keithley测试平台
超高精度的源表
模块化的设计
功能丰富的软件
可视化的界面
高低温变温环境