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产品介绍：
ALD-TL1200-1200-S-C 原子层气相沉积系统由滑动管式炉、石英真空室、GX供气系统、抽气系统、真空测量系统和ALD系统组成。
这款ALD-TL1200-1200-S-C 原子层气相沉积系统以Kanthal A1 电阻丝为加热元件，采用双层壳体结构和30段程序控温仪表，过零
触发、可控硅控制，炉膛采用氧化铝多晶纤维材料，炉管两端能不锈钢法兰密封，不锈钢法兰上安装有气嘴、阀门和压力表，抽真空时
真空度能够达到10-3 Pa，具有温场均衡、表面温度低、升降温度速率快、节能、等优点。
开盖保护系统：该炉安装有行程开关，当炉盖打开时会自动切断电源，有效地保证使用者的安全。
| 型号 | ALD-TL1200-1200-H-C-I | ALD-TL1200-1200-H-C-II | ALD-TL1200-1200-H-C-III | |||
| 功率 | 4KW | |||||
| TL1200 管式炉 | 炉管尺寸 | Dia 60(OD) X1500mm | Dia 80(OD) X1500mm | Dia 100(OD) X1500mm | ||
| 外形尺（LXDXH） | 1500X450X600 | 1500X450X600 | 1500X510X650 | |||
| 电源电压 | 220V | |||||
| 相数 | 单相 | |||||
| 加热元件 | 瑞典Kanthal A1 进口电阻丝 | |||||
| 控制方式
| 采用宇电程序控温仪表（标配） 1、30段程序控温智能PID调节。 2、具有过温保护 断偶保护过温或断偶时电炉加热电路自动切断,，（当电炉温度超过1200度或热电偶烧断时， 主电路上的交流继电器会自动断开，主电路断开，面板上ON灯熄灭，OFF灯亮，有限的保护电炉）。 3、带有485 通讯接口（选购软件时标配） 4、具有断电保护功能，即断电后再给电启动炉子时、程序不是从起始温度开始升、而是从断电时炉温开始升。 5、仪表具有温度自整定的功能 （更换进口仪表，需要另外付费，选购） FP93控温仪表（日本岛电） 欧陆仪表 触摸屏仪表 | |||||
| 控温模式 | 智能PID | |||||
| 断偶保护和显示 | 有 | |||||
| 过温保护 | 有 | |||||
| 过流保护 | 有 | |||||
| 控制精度 | +/- 1 ℃ | |||||
| 触发器 | 移相触发 | |||||
| 电器 | 浙江正泰 | |||||
| 可控硅 | 106/16E 德国西门康 | |||||
| 温度 | 温区一：1200 ℃ 温区二：1200 ℃ | |||||
| 额定温度 | 温区一：1100 ℃ 温区二：1100 ℃ | |||||
| 升温速率 | ≤30 ℃/ Min （可根据要求修改） | |||||
| 推荐升温速率 | ≤15℃/ Min | |||||
| 热电偶型号 | 温区一：K 型 温区二：K型 | |||||
| 加热段长度 | 温区一：200mm 温区二：200 mm | |||||
| 电器认证 | | |||||
| 四周表面温度 | ≤45℃ | |||||
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GX供气系统主要参数
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D07-7C 质量流量计
| 量程和气体 | 5、10、20、30、50、100、200、300、500SCCM、1、2、3、5、10SLM （你可以任意选择以上量程和所通气体的类型） | |||
| 耐压 | 3MP | |||||
| 流量控制精度 | ±1.0%F.S | |||||
| 工作（使用）压力 | 0.3MPa | |||||
| 线性 | ±0.5%F.S. | |||||
| 重复精度 | ±0.2% F.S | |||||
| 路数 | 1 、2、3、4、5、6、7、8 路（可任意选择几路） | |||||
| 接头类型 | 双卡套不锈钢接头 | |||||
| 系统工作压力范围 | 0.1~0.5 MPa | |||||
| 工作温度 | 5-45℃ | |||||
| 压力真空表表 | -0.1~0.15MPa 0.01MPa/格 | |||||
| 静态混气室 | Dia50 X 400MM | |||||
| 接口 | Dia6 / 1/4” | |||||
| VS-0.1抽气系统 方案一或方案二任选一个
| 电源 | 220V | ||||
| 尺寸 | 650X650X600 / 650X650X300 | |||||
| 波纹管 | KF25X1000mm | |||||
| 用该系统抽炉管真空度可达 | 10 -1Pa | |||||
| 真空挡板阀 | KF25 | |||||
| VRD-16真空泵 （方案一） | 型号 | VRD-8 | ||||
| 极限分压强 | 5X10-2 Pa | |||||
| 进排气接口 | KF25 | |||||
| 电机转速 | 1440RPM | |||||
| 抽气速率 | 2.2L/S | |||||
| 电机功率 | 0.4KW | |||||
| 瑞典（INFICON） 皮拉尼陶瓷电容真空计 （方案二） | 型号 | PCG554 | ||||
| 输入电压 | 24V 1A DC（配有220V变压器） | |||||
| 真空计接口 | KF16 | |||||
| 数字显示 | 数字显示（屏幕尺寸为20x14mm），其数据显示单位为torr | |||||
| 产品尺寸 | 46mm×28mm×126mm ( L x W x H) | |||||
| 重量 | 5 lbs | |||||
| 检测气体 | 可检测各种气体，包括混合气体，测量精确、重复性好。 | |||||
| 是否防腐 | 防腐 | |||||
| 响应时间 | ≤30ms | |||||
| 测量范围 | 3.8x10-5 -1125 Torr. | |||||
| 分子泵机组（选购） （方案一或方案二任选一个） | 机组输入电压 | 380V /220V | ||||
| 波纹管 | KF40X1000 | |||||
| 真空挡板阀 | KF40 | |||||
| 机箱尺寸 | 600X600X600 | |||||
| 分子泵 （方案一） | 分子泵型号 | FJ620 | ||||
| 输入电压 | 380V | |||||
| 分子泵进气口法兰 | DN160 | |||||
| 分子泵抽气速率L/S（对空气） | 600 | |||||
| 分子泵极限压强（Pa) | 6×10-7 | |||||
| 冷却方式 | 水冷 | |||||
| 冷却水压（MPa） | 0.1-0.2 | |||||
| 冷却水温度 | <25℃ | |||||
| 环境温度 | 0~40℃ | |||||
| 建议启东压强 | <100pa | |||||
| 分子泵前级真空泵TRP-24 （方案二） | 功率 | 0.75KW | ||||
| 电压 | 380V | |||||
| 转速 | 1450rpm | |||||
| 进气口径 | KF25/KF40 | |||||
| 前机泵抽气速率（L/S） | 6 | |||||
| 极限压强 | 4X10 -2Pa | |||||
| 德国Pfeiffer真空泵 （方案二）
| 电压 | 220V | ||||
| 功率 | 110W | |||||
| 抽气接口 | KF40 | |||||
| 重量 | 150KG | |||||
| 前机泵抽速 | 0.9m 3/ h | |||||
| 抽气速率（N2） | 33L/S | |||||
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复合真空计 | 复合真空计型号 | ZDF | ||||
| 电源 | 220V 55W | |||||
| 控制精度 | ± 1% | |||||
| 真空计测量范围 | 10-5 -10 5 Pa | |||||
