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EX1手动椭圆偏振测厚仪是基于消光法(或称“零椭偏”)椭偏测量原理,针对纳米薄膜厚度测量领域推出的一款手动教学仪器。
EX1 仪器适用于纳米薄膜的厚度测量、以及纳米薄膜的厚度和折射率测量。
EX1仪器还可用于测量块状材料(如,金属、半导体、介质)的折射率n和消光系数k。
特点:
· 消光法椭偏测量原理
仪器采用消光法椭偏测量原理,易于操作者理解和掌握椭偏测量基本原理和过程。
· 方便的样品水平放置方式
采用水平放置样品,方便样品取放。
· 精巧的一体化结构
集成一体化设计,精巧的仪器外形,方便地显示仪器测量过程中的光强信息。
· 高准确性的激光光源
采用激光作为探测光波,测量波长准确度高。
· 实用的样品测量功能
可测量纳米薄膜的膜厚和折射率、块状材料的复折射率。
· 方便的仪器手动操作
手动完成测量,仪器软件辅助进行测量数据的分析。
· 可扩展的仪器功能
利用本仪器,可通过适当扩展,完成多项偏振测量实验,如马吕斯定律实验、旋光测量实、旋光等。
应用:
EX1适合于教学领域,适用于单层纳米薄膜的薄膜厚度测量,也可用于测量块状材料的折射率n和消光系数k。
EX1可测量的样品涉及微电子、半导体、集成电路、显示技术、太阳电池、光学薄膜、生命科学、化学、电化学、磁质存储、平板显示、聚合物及金属表面处理等领域。
技术指标:
项目 | 技术指标 |
仪器型号 | EX1 |
测量方式 | 手动 |
样品放置方式 | 水平放置 |
光源 | He-Ne激光器,波长632.8nm |
探测光束直径 | Φ2-3mm |
入射角度 | 30°-90°,步距5°,误差0.1° |
偏振器方位角读数范围 | 0-360° |
偏振器刻度 | 1°/格 |
偏振器较小读数 | 0.05° |
样品方位调整 | Z轴高度调节:12mm 二维俯仰调节:±4° |
允许样品尺寸 | 样品直径可达Φ120mm |
配套软件 | * 多个测量项目选择 * 测量数据分析、计算、输入输出 |
较大外形尺寸 | (入射角度70°时)长宽高:556*286*405 mm |
仪器重量(净重) | 13kg |
选配件 | * 激光二极管,波长635nm |
注:(1)测量重复性:是指对标准样品上同一点、同一条件下连续测量30次所计算的标准差。
性能保证:
· ISO9001国际质量体系认证下的仪器质量保证
· 专业的椭偏测量原理课程讲授
· 专业的仪器使用培训