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| 产品型号 | EF-2010A | EF-3020A | EF-4030A | EF-5030A |
| 外形尺寸（W*D*H） | 570*370*790mm | 700*500*900mm | 860*650*1120mm | 860*700*1120mm |
| X*Y*Z行程 | 200*100*100mm | 300*200*150mm | 400*300*150mm | 500*300*150mm |
| 台面大小 | 350*270mm | 500*350mm | 600*450mm | 650*450mm |
| 机台重量 | 100kg | 180kg | 350kg | 360Kg |
| 台面荷重 | 20kg | 25kg | 25kg | 25Kg |
| 重现性 | < 0.005mm | < 0.005mm | < 0.005mm | < 0.005mm |
| 光栅尺解析力 | 0.001mm | 0.001mm | 0.001mm | 0.001mm |
| 示值精度 | 3+L/200μm | 3+L/200μm | 3+L/200μm | 3+L/200μm |
| 放大倍数 | 20x-120x | 20x-120x | 20x-120x | 20x-120x |
| CCD | 彩色1/3”高解析520TV线 | 彩色1/3”高解析520TV线 | 彩色1/3”高解析520TV线 | 彩色1/3”高解析520TV线 |
| 驅動方式 | CNC(全自动) | CNC(全自动) | CNC(全自动) | CNC(全自动) |
