等离子清洗机 YSP
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上海尔迪仪器科技有限公司
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用途 ● 提高各种材料的粘接性、表面改质处理 ● 清洗各类基板。 ● 电子部品、材料表面改质。 ● 去除有机物和自然氧化膜。
特点 ● 体积小,节省空间。 ● 选用小型腔体,反应效率高。 ● 更容易嵌入生产线使用。 ● 可通过操作面板自由切换等离子模式。 ● 配备冷却反应台。
型号
YSP600U
YSP2KU
模式
RIE(DP模式选购)
高频输功率
600W
2000W
反应台尺寸
W300×D300mm
W600×D600mm
反应气体
2进气系统(氧气、氩气)
反应气体流量控制
质量流量控制器
气体导入口
反应气体2个、填充气体1个、空气1个
联系方式
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