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等离子清洗机(plasma cleaner),是一种全新的高科技技术,利用等离子体来达到常规清洗方法无法达到的效果。等离子体是物质的一种状态,也叫做物质的第四态,并不属于常见的固液气三态。对气体施加足够的能量使之离化便成为等离子状态。等离子体的“活性”组分包括:离子、电子、原子、活性基团、激发态的核素(亚稳态)、光子等。等离子清洁机就是通过利用这些活性组分的性质来处理样品表面,从而实现清洁、涂覆等目的。
等离子清洗机除了具有清洗功能外,在特定条件下还可根据需要改变某些材料表面的性能,在清洗过程中,小型等离子清洗机的辉光放电可以加强这些材料的粘附性、相容性和浸润性。
这款等离子清洗机适合于实验室和小型生产。采用13.56Mhz的射频电源,能够用来匹配各种常用气体的等离子体。射频电源的功率从100W到1000W之间有多种常用规格可供选配,能够满足用户的多样化需求。
技术参数:
主要部件 | 指标名称 | 参数指标 |
清洗仓体 | 清洗仓材质 | 不锈钢 |
清洗仓尺寸 | 220mm x 220mm x300mm | |
射 频 电 源 | 电源特性 | 该电源为全固态射频电源,采用高稳定高可靠的功放模块和直流模块,有效保障了电源的射频功率输出。采用高质量的电子元器件,使产品的可靠性得以保证。 |
电源优势 | ●可长时间正常运行 ● 电源效率高、发热少 | |
射频功率 | 0~500W连续可调 | |
信号频率 | 13.56MHz ±0.005% | |
反射功率 | ≤100W | |
功率稳定度 | ±0.1% | |
射频接头 | N型头 | |
整机效率 | ≥75% | |
谐波分量 | ≤-50 dBc | |
冷却方式 | 强制风冷 | |
气 体 测 量 | 测量部件 | 浮子流量计 |
气体通道 | 两通道 | |
A通道量程 | 10~100ml | |
B通道量程 | 16~160ml | |
真 空 获 取 | 真空测量 | 数字真空计(电阻规) |
真空抽取 | 分子泵组 | |
抽气速率 | 旋片泵1.1L/s 分子泵600L/s | |
极限真空 | 1.0E-4Pa | |
管道接口 | 进气口:φ8快拧接头; 抽气口KF40/KF16 | |
连接管道 | KF40真空波纹管 | |
电机功率 | 400W/1.5KW | |
其 它 | 供电电源 | AC220V 50/60Hz |
整机功率 | 1000W | |
使用温度 | -10℃ -- 40℃ | |
工作真空 | ≤40Pa | |
整机尺寸 | 600mmX650mmX730mm | |
整机重量 | 80kg(不含泵组) |
应用领域:
金属:去除金属表面的油脂,油污等有机物及氧化层;
汽车制造:用于汽车制造过程中的塑料和喷漆前处理;
纺织品生产:用于纺织品,滤网和薄膜的亲水性,疏水性和表面改性处理;
生物医疗:培养皿提高活性,血管支架,注射器,导管和各种材料的亲润,交合涂覆前处理;
航空航天:绝缘材料,电子元件等表面涂覆前处理;
电子:线路板的清洗和蚀刻。胶片,PP等材料的无氧化和活化处理,改进可焊性;
半导体行业:晶圆加工及处理去除光刻胶,封装前预处理;
LED:支架清洗封装前预处理;
塑料橡胶:提高PS,PE,PTFE,TPE,POM,AS和PP等材料表面活性,使其利于粘接,印刷。
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