测径仪型式

XLS40/1500/B

XLS80/1500/B

量测区域

(mm)

40

80

可量测直径

(mm)

0.06 - 38

0.75 - 78

分辨率(可选择)

(μm)

10 / 1 / 0.1 / 0.01

核心线性精度

(μm)

± 0.5 (1)

± 1 (2)

线性精度(量测平面) (3)

(μm)

± 0.5

± 1

重复性精度 (T=1s, ±2V)

(μm)

± 0.07

± 0.2

单点重复性精度(±2V)

(μm)

± 1.5

± 3.5

光束接触点 (s,l) (4)

(mm)

0.06 x 0.1

0.4 x 0.2

激光光点落差

(mm)

± 0.02

± 0.05

扫描频率

(Hz)

1500

扫描速度

(m/s)

300

588

热膨胀系数 (5)

(μm/m°C)

- 11.5

激光光源

VLD (Visible Laser Diode); O