产品特性优点

1：内部紧凑设计，缩小了设备的尺寸

2: 采用7英寸触摸屏控制面板，操作更加便捷

3：采用“密闭碗”设计，可以适应各种材料的匀胶工艺。

4：标准配置的转速为10000rpm，可以根据用户需要进行定制

5：采用工业级的伺服电机，电机的设计可以避免光刻胶等污染物进入电机内部

6：机身选用耐酸碱、耐冲击、耐腐蚀不锈钢，生锈，便于清洗。

7：排风和抽气系统位于载片台的底部，利于排风效率和匀胶的均一性

8：透明可视，耐化学腐蚀的密封盖，可以在旋涂作业时隔绝光阻的溢出及有效有毒气味的散发。

产品参数

转速范围：20-5000rpm，10000rpm可选
转速分辨率：±1rpm
加速度可调范围：20-10000rpm/s
单步时长：3000s
时间分辨率：0.1s
涂胶均匀性：≤±3%
可编程100组100步程序，更多可扩展
带四路自动点胶端口，可升级多路自动点胶功能
可配6寸，8寸铝合金真空载物盘，特殊规格需定制
外型尺寸：463mm(W)*613mm(D)*306mm(H)