匀烤胶一体机

产品介绍

适用于8英寸及以下晶圆的匀胶烤胶工艺
可选耐腐蚀PP柜体或不锈钢柜体
配置自动供胶系统,根据客户工艺选择供胶方式
触摸式人机交互界面,实时显示设备运行状态
高精度伺服控制系统,满足匀胶工艺要求
可选配去边、背洗、光刻胶温控等功能
专业匀胶腔体,通过气流控制可有效提升工艺指标
可选配置空气净化单元(FFU)

产品参数

旋转速度范围: 20-5000rpm(可选10000rpm)
加速度范围: 20-20000rpm/s
转速精度:±1rpm
(光刻胶嘴数量:≤4路
匀胶工艺配方:≤ 100组(每组≤ 100步)
热板参数:控温范围 50°℃-200℃温度均匀性≤±1%
设备尺寸:1600mm(W)*1100mm(D)*1850mm(H)