产品特点：

•真空法兰在手套箱的左边，与PECVD系统的石英管连接；

•两个炉体在一个滑轨上，可通过炉体的滑动达到对样品快速加热和快速冷却的效果!

加热炉参数：

•连续工作温度：1100℃

•两个炉体都可设置30段升降温程序

•高纯氧化铝纤维作为炉膛材料（表面涂有高温氧化铝涂层，可提高加热效率延长炉膛使用寿命）

•电源：AC220，50Hz   功率：3KW

手套箱参数:

•带有除水系统：保持水含量< 2 ppm

•真空法兰在手套箱的左边，与PECVD系统的石英管连接

射频电源：

真空系统：

•·采用TRP-12的双旋真空泵；

• KF25卡箍及波纹管用于连接管式炉与真空泵；

•真空度可达10-2Torr。

供气系统（可选）：

•客户可选购四通道质子流量计控制系统实现气体流量的精确控制（精确度：±0.02%）;

•流量范围：

•电压：208-240V， AC， 50/60Hz；

•气体进出口配件：6mm OD的聚四氟管或不锈钢管;

•不锈钢针阀用于手动控制气体进出；

• PLC触摸屏可以简便地进行气体流量设置。

产品尺寸：

炉体尺寸：1600mm(L) -430mm(W)-500mm(H)

手套箱尺寸：780mm(L)-700mm(W)-650mm(H)

质保：

一年保质期，终身维护，不包括炉管，硅胶密封圈和加热元件