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设备特点
1、激光蚀刻为干式蚀刻，加工制程简单，所有加工均由软件自动控制，产品一致性高，良率高达99%。
5、激光蚀刻机5万小时无耗材，免维修，使用成本低，替代黄光制程。
应用行业
1.电阻式、电容式触摸屏银浆线路蚀刻、修复；
2.ITO及各类金属导电膜线路激光蚀刻；
3.PCB行业薄膜电路光刻掩膜板激光蚀刻成型；
4.太阳能光伏硅基板薄膜电路蚀刻。
技术参数
| 激光器 | 光纤激光器 | 紫外激光器 |
| 激光波长 | 1064nm | 532nm |
| 激光功率 | 10/20W | 10W |
| 聚焦光斑 | ≤0.02mm | |
| 激光频率调节范围 | 20K-100KHz | |
| 刻蚀线宽 | 20μm | |
| 刻蚀速度 | 4000mm/s（视材料、参数而定） | |
| 加工范围 | 500mmX500mm（可根据客户要求定制） | |
| 单次幅面 | 140mmX140mm (可选配) | |
| 功率消耗 | <2KW | |
| CCD自动定位精度 | ±2μm | |
| 直线电机工作台定位精度 | ±2μm | |
| 直线电机工作台重复精度 | ±1um | |
| 设备尺寸 | 1650mmL×1300mmW×1670mmH | |
| 设备重量 | 2000kg | |
铝薄膜激光刻蚀 镀金玻璃激光刻蚀
ITO激光刻蚀 铜薄膜激光刻蚀
银浆激光刻蚀 FTO激光刻蚀
