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序号 | 项目 | CMC-800规格 |
1 | 设备外观尺寸 | 880mm(L)×960mm(W)×1880mm(H) |
2 | 清洗盘规格 | 定制(清洗盘直径<ø550mm) |
3 | 清洗方式 | 二流体清洗 |
4 | 干燥方式 | 高速离心甩干 |
5 | 电源供应 | AC380V 50HZ |
6 | 总功率 | 7KW |
7 | 耗电量 | 清洗时: 3.5kw/h |
8 | 传动马力 | 3HP |
9 | 环境过滤方式 | 0.3μm;99.999% |
10 | 空气过滤方式 | 1μm×1;0.01μm×1 |
11 | 离心转速 | 100-1500RPM |
12 | 纯水消耗量 | 0-7L/Min |
13 | 气体消耗量 | 10-30m³/H |
14 | 清洗压力 | 液体压力:3-8Kgf/cm²,空气压力:0.2-0.5Mpa |
15 | DI水供应 | 流量:>7LPM 电阻率:>17MΩ |
16 | 气源供应 | 压力:0.45-0.7Mpa;流量:>30m³/H(洁净度符合清洗要求) |
17 | 纯水入口径 | ø12mm软管或PT1/2″内螺纹 |
18 | 气源入口径 | ø12mm气管 |
19 | 排水出口径 | PT 1″内螺纹 |
20 | 排气口口径 | 4″×2(需加强抽风,风速大于3m/sec) |
21 | 机器净重 | 450KG |