产品描述

Smartproof 5快速转盘共聚焦显微镜以共聚焦光学为基本原理，采用的高速转盘扫描技术为成像方法，将高分辨率与速度结合在一起，是一款能够快速提供工业零部件表面三维轮廓，并可实现非接触式表面粗糙度测量的精密分析仪器。

Smartproof 5拥有业内的高分辨率和高速度共聚焦系统，的转盘共聚焦技术有效地减少获取分析结果的时间。集成和稳固设计确保无附加防振设备下能够在不同环境中安装并使用，的操作者模式适合工业生产的批量检测任务，能够极大地提高检测效率。蔡司以她的光学技术和基于用户的设计理念，再次向世界证明了光学的地位。

产品特点

l高分辨

由于采用了共聚焦成像原理，Smartproof 5将传统光学分辨率提高1.4倍，其XY方向线分辨率达到120 nm。

l高测量精度

同时，在充分利用共聚焦能提供高度信息的基础上，Smartproof 5配备了精度高、重复性好的Z轴自动步进装置，最小步进精度达到1nm，这使得高度上亚微米，甚至纳米尺度的非接触式精确测量成为可能。

l高速扫描

传统共聚焦采用点扫描成像，速度较慢；而Smartproof 5采用转盘扫描，成像速度大大提高，的高精度模式扫描速度超过50幅/秒（2048*2048分辨率），可以说瞬间即可得到测量结果，大大提高工作效率。

l真实色彩还原

还可使用三色LED光源，能够展现被测试样表面的真实颜色，从而将传统黑白共聚焦扫描显微镜拓展到更广阔的应用领域。

技术参数：

1. 波长：405nm

2. 分辨率：120nm

3. Z轴最小步进精度：1nm

4. 成像速度：常规共聚焦的2-3倍

5. 物镜：2.5x-100x 

6. 高度扫描范围：高达5mm

7. 载物台：150mm×150mm超大行程

8. 控制系统：Smartproof 5应用软件

9. 图像处理和数据测量：

2D：距离，高度，角度，构造元素，基于ISO 4287的轮廓粗糙度

3D：水平距离，3D距离，高度，角度，构造点，面积，体积，基于ISO 25178的面粗糙度

其他：水平调整，形状去除，滤波，去噪，报告

应用

1. 汽车制造：研究活塞的摩擦磨损、特殊要求的部件表面粗糙度测量、焊接组件及接缝处的角度测量

2. 航空航天工业：评价橡胶密封圈的磨损、特殊要求表面 的粗糙度分析

3. 科研：植入器官的表面测量

4. 微光学/机械制造：敏感精密光学部件的表面测量、精密机械部件的精密几何测量

5. 电子：导线的几何量测量（宽度，厚度等）、焊接结点的质量过程控制

6. 造纸：纸张以及印刷品的表面测量

应用图例：

激光刻蚀表面，带表面纹理图层的3D 彩色编码高度图

衍射光学器件，彩色编码高度图

研磨铝表面,带表面纹理图层的3D显示图

台阶高度标样测试（标准高度1.777±0.011mm，NIST认证），实测台阶高度1.772mm。

上图：三维伪彩图；下图：二维轮廓线图。

粗糙度标样测试结果。标准粗糙度Ra = 2.97mm，实测Ra=2.962mm。

20x物镜，4x1三维拼接，cut-off值取1/5取样长度。