晶圆贴膜机工作原理

友硕ELT晶圆贴膜机工作原理

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2021-01-28 17:12:31
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昆山友硕新材料有限公司

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产品简介

中国台湾ELT科技是*制程设备制造商,其中硅片真空压膜机 晶圆级贴膜机是8寸/12寸晶圆贴合设备,填充率高,无气泡,高深宽比,全自动调节温度压力,是晶片制程后期的设备。

详细介绍

晶圆贴膜机工作原理介绍

  工作原理:料带上的自粘性零件在驱动装置的牵引到吸料装置下面的剥料板上, 自粘性领引下, 通过一系列张紧导向装置被送件剥离后,再自动机械手校正后,被自动贴装到用治具定位的工件上。

晶圆贴膜机

  操作规范程序

  1、开机前必须检查设备装置的紧固螺栓是否松动,并用调薄水抹干净机器上的全部部件,以后重新调好胶水。工作台面严禁存放任何杂物。

  2、闭合电源总开关,检查主机的启动与停止、上胶的启动与停止、收卷的启动与停止、烘道加热,抽风的电源电气开关和仪表的指针等,是否灵活可靠,灵敏正确。通电后,观察设备运转是否正常,有无异常声音和焦味。

  3、当机器启动后,必须掌握滚筒的速度调节,滚筒的温度控制,烘道的温度控制。严格控制设备的速度、温度。

  4、设备启动后应空运行3~5分钟,试膜几块,检查其符合要求后再批量生产 未经试膜,不允许正式生产。

  5、自觉做好“首三检”并经常自检工件作业质量。不能一次自检就贴膜到底。

  6、操作时手只能在距离滚筒30公分以外,不能进入危险处。 严禁边操作、边谈话、精神不集中,衣服与长发必须盘束紧,不要飞散会。

  7、工作完毕或发生故障、出现异常情况必须先停机,报告主管。申请修理并挂上检修牌。 严禁运行中进行维修;严禁带病强行。

  8、切断电源开关,清理工作现场。材料存放有序,留有安全通道

  ELT晶圆贴膜机介绍:

  中国台湾ELT科技是*制程设备制造商,其中硅片真空压膜机 晶圆级贴膜机是8寸/12寸晶圆贴合设备,填充率高,无气泡,高深宽比,全自动调节温度压力,是晶片制程后期的设备。

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