德国力士乐滑块R162281322

上海先韵自动化科技有限公司 
王先生

BSHP 滚珠滑块 SNS，标准，钢质
可用于各种 SNS/SNO 滚珠导轨
*的动态特性
滚珠滑块出厂时已经过润滑。

应用范围：适用于横向上空间受限的场合
扭矩容量高
所有四个主负载方向上的高额定载荷相同
*润滑可在数年内持续有效
可互换性不受限制，所有的滚珠导轨系统都可与各精度等级的各种版本滚珠滑块任意组合。
德国力士乐滑块R162281322
德国力士乐Rexrotha代理商;力士乐上海代理商
R162281320;R162282420;R162289420;R162281322

 案例1、高等级的晶圆品质管制、光罩制作
    晶圆表面的管制以及晶圆或玻璃面板的光罩通常需要采用空气轴承式的XY平台，以检测出极微小的缺陷或制作出高精度的光罩。例如电子业，晶片工业以及平面显示器业里面都采用这种方式。
    1、平面度±2un
    2、重新性±0.5um
    3、精度±1.5un

    案例2、微米技术及晶圆处理
    在微米工程等级的应用以及晶圆设备中尤其重视精度及洁净室适用性。采用德国力士乐马达高精度XY平台为J佳选择。
    1、行程200mmx200mm，亦可选购300mmx300mm
    2、全行程平面度±4um
    3、各轴重新性±1um
    4、各轴精度±4um
    5、洁净室等级100适用，亦可选购等级10