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索尼的柔性电子纸利用印刷技术制作TFT

2012-07-13 10:07:54824
来源:日经BP社
  在目前发布的柔性电子纸中,索尼开发的13.3英寸有机TFT驱动产品受关注。该产品为单色显示,采用了中国台湾EInk Holdings的电子纸。像素为2130×1596,像素尺寸为127μm×127μm,分辨率为200dpi。开口率为82%。
  
  有机TFT的半导体层采用被称为“PXX衍生物”(peri-Xanthenoxanthene)的自主开发的有机材料。载流子迁移率约为0.5cm2/Vs。
  
  开发品的特点是其中的有机TFT是利用印刷技术制作的。对每层有机TFT,分别使用了平板胶印、旋涂及狭缝涂布3种印刷技术。仅用平板胶印法形成的是表面保护膜。像素电极在以溅射法成膜后,又用平面胶印形成了感光性树脂。有机半导体层用狭缝涂布法、栅极绝缘膜和层间绝缘膜用旋涂法成膜后,再利用普通光刻法形成图案。

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