索尼的柔性电子纸利用印刷技术制作TFT
- 2012-07-13 10:07:54809
有机TFT的半导体层采用被称为“PXX衍生物”（peri-Xanthenoxanthene）的自主开发的有机材料。载流子迁移率约为0.5cm2/Vs。
开发品的特点是其中的有机TFT是利用印刷技术制作的。对每层有机TFT，分别使用了平板胶印、旋涂及狭缝涂布3种印刷技术。仅用平板胶印法形成的是表面保护膜。像素电极在以溅射法成膜后，又用平面胶印形成了感光性树脂。有机半导体层用狭缝涂布法、栅极绝缘膜和层间绝缘膜用旋涂法成膜后，再利用普通光刻法形成图案。