- ◆ 外形尺寸(不包括报警灯)
1000(W)×800(D)×1750(H)mm -
◆ 仓体结构(石英,约20升) - Φ 245mm ×400Lmm
- ◆ 等离子发生器(德国)
频率2.45GHZ,功率0-1000W连续调节,可连续长时间工作 ◆ 控制系统 触摸电脑+PLC全自动控制,采用欧姆龙、西门子等世界电器元件,性能稳定可靠,并具有手动、自动两种模式 ◆ 真空系统(真空压力PID闭环自动控制) 英国爱德华斡旋式干泵 GV40 美国MKS真空压力控制节流阀及薄膜式传感器 中国台湾气动真空角阀、充气阀、DN63不锈钢真空波纹管 ◆ 充气系统 美国MKS高精度电子质量流量计(2路气体配制) 美国世伟洛克气体管路及接口组件,德国双级减压阀 日本SMC及CKD高真空气阀组件 | | |