X-Prep®Vision™-基材测量仪
产品简介
详细信息
X-Prep®Vision™是一种计量工具，可以测量硅和半透明基板。对于需yao均匀减薄到特定目标且公差为+/- 3 µm或更高的应用场合来说是必要的。
X-Prep®夹具适配器也固定在 X-Prep®Vision™的电动工作台上 ，确保在系统之间传输时，测量/工具控制坐标保持对齐。
每个系统都包含具有130多种材料的库（例如， GaAs，InGaAs，SiC，蓝宝石/ Al 2 O 3，InP，SiGe，GaN，光刻胶）。
测量与观察-工作原理
红外光聚焦到样品上，并基于材料的折射率创建信号。返回信号由软件分析以产生厚度值。
厚度低于10 µm
对于需yao减薄至小于10 µm的应用，只有添加可见光光谱仪附件，才能进行精准测量。
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特征
| 多点扫描或单点厚度测量 | 10微米至全厚度（1 mm）的测量范围（使用＃15-51000光谱仪进行配置时，厚度为15 nm至1 mm） | |
| 电动自动X / Y / Z（自动对焦），采集时间不到1秒 | 自动边缘和角落检测可将测量网格与X-Prep®对齐-包括theta校正 | |
| X / Y输入的边缘排除 | 装有X-Prep®夹具适配器的载物台 | |
| “协调开车”软件导航 | 查看2D绘图/地图或3D图形 | |
| 随附Allied专有的X-Correct™软件 | 如果不购买可见光谱仪（＃15-51000），则必须单独购买CCD相机（＃15-50020） | |
| 粗糙度-15微米抛光 | 100 mm x 100 mm工作台行程 | |
| 可通过.NET扩展软件自动化 | 使用标准Windows方法导出数据 | |
| 一（1）年保修 | 尺寸：14英寸（宽）x 17英寸（深）x 19英寸（高）（355 x 431 x 483毫米） |
产品型号
| 产品编号 | 规格描述 |
| 15-50100 | X-PREP®VISION™100基板测量仪器 100-240V AC 100 mm x 100 mm X / Y 位移台 |
产品附件
| 产品编号 | 规格描述 |
| 15-51000 | 可见光谱仪和照相机 |
| 15-50020 | CCD相机 |