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仪器仪表光学仪器电子显微镜

U1510扫描电子显微镜

供应商:
上海彼爱姆光学仪器制造有限公司
企业类型:
其他

产品简介

U1510扫描电子显微镜一、用途SU1510扫描电子显微镜主机宽度仅为55cm体型小巧,具有3.0nm分辨率的高性能可变压力扫描电镜

详细信息

U1510扫描电子显微镜

一、用途

SU1510扫描电子显微镜主机宽度仅为55cm体型小巧,具有3.0nm分辨率的高性能可变压力扫描电镜。

特点

  

1. 仪器主体比过去减小20%,可以更加自由地选择安装场地。

  

2. 标配低真空功能,可以对不导电进行无喷涂观察。高低真空转换一键完成。

  

3. 可载入*大直径153mm,高度为60mm(WD=15mm)的样品,并进行元素分析。

  

4. 强大的鼠标控制功能,可实现电镜的所有操作。

  

5. 分子泵真空系统,洁净无污染。


二、技术规格

项目内容
二次电子分辨率3.0nm(高真空,30kV)
背散射电子分辨率4.0nm(低真空:6Pa,30kV)
倍率5~300,000X
加速電圧0.3~30 kV
样品台 X 0~80 mm
Y 0~40 mm;
Z 5~50 mm;
T -20°~ 90°;
R 360°
样品台控制手动(可选:2轴马达)
*大载入样品尺寸直径:153 mm
*大观察范围直径:126 mm(XYR并用)
*大样品高度60 mm(WD=15 mm)
低真空范围6-270Pa(从菜单设定)
灯丝预对中钨灯丝
物镜光阑4孔可变光阑
枪偏压固定比例偏压、手动偏压和自动4偏压
检测器二次电子检测器,高灵敏度半导体背散射电子检测器
EDX分析位置WD=15,TOA=35°
真空系统分子泵1台,机械泵1台
安全措施停电,漏电,自动保护