| 项 目 | 内 容 |
| 放大倍率 | 15X～30,000X(数字放大：2X、4X) |
| 观察模式 | 标准模式、减轻荷电模式、大束流分析模式 |
| 图像模式 | 形貌像、成份像、阴影像1、阴影像2、凹凸像 |
| 电子光学系统 |
| 电子枪 | 预对中发夹型钨灯丝 |
| 加速电压 | 5kV、15kV 、EDX |
| 透镜系统 | 3级电磁式透镜会聚系统 |
| 电位移 | ±50μm (WD=4.5mm、观察条件：标准模式) |
| 能谱分析位置 | WD=10mm, TOA=35° |
| 样品台 |
| 样品台控制 | 2轴手动样品台 |
| 样品可移动范围 | X：±17.5mm、Y：±17.5mm |
| *大样品尺寸 | 直径70mm |
| *大样品厚度 | 50mm |
| 检测器 | 高灵敏4分割半导体背散射电子检测器 |
| 真空系统 |
| 自动控制系统 | 全自动气动阀控制系统 |
| *高真空度 | 1.5×10-5Pa |
| 可变真空度 | 6~270Pa(22steps) |
| 涡轮分子泵 | 30L/s 1台 |
| 隔膜泵 | 1m3/h 1台 |
| 真空计 | 1台 |
| 自动功能 |
| 自动灯丝饱和 | 已配备 |
| 自动电子束设定 | 已配备 |
| 自动电子枪对中 | 已配备 |
| 自动合轴 | 已配备 |
| 自动聚焦、消像散 | 已配备 |
| 自动亮度、对比度 | 已配备 |
| 自动保护功能 | 带有过电流保护功能、漏电遮断器 |
| 计算机控制系统 |
| 操作系统 | Microsoft Windows® 7 |
| CPU | Intel® CoreTM2 Duo P8700(或与其兼容的PC) |
| 内存容量 | 2GB以上 |
| 接口与端子 | USB2.0接口(2个)、网路接口(以太网) |
| 观察 | 15.4英寸LCD；屏幕分辨率1280×800像素 |
| 控制 | 鼠标、键盘 |
| 扫描速度 |
| TV扫描 | 640×480象素显示，25帧/秒 |
| 快速扫描 | 全屏显示，6.3帧/秒 |
| 慢速扫描 | 全屏显示，1/4/20/40/80秒/帧
640×480像素显示，0.5/2/10/20/40秒/帧 |
| 图像数据存储 |
| 图像存储像素 | 640 × 480、1,280 × 960像素 |
| 图像数据保存 | PC带硬盘及其他记录媒体 |
| 图像存储格式 | BMP、TIFF、JPEG |
| 图像信息 | 微标尺、微值、放大倍率、日期、时间、图像编号、注释、观察条件、观察模式、图像模式、工作距离 |
| 辅助功能 | 图像旋转、简单测量、三维动画维护指南 |
| 使用环境 |
| 室温 | 15°C ～30°C |
| 相对湿度 | 40%～70% |
| 电源 | 单相AC100～240V(*低90V、*高250V) 50/60Hz、3P插座 |
| 地线 | D类接地，电阻小于100Ω |
| 体积与重量 |
| 主机 | 330(长)×606(宽)×565(高)mm、63.0Kg(manual stage)
330(长)×630(宽)×565(高)mm、66.0Kg(motor drive stage) |
| 隔膜泵 | 145(长)×256(宽)×217(高)mm、4.5Kg |
