WTS220 全自动晶圆检查机、分选机、倒片机
产品简介
详细信息
| • 4”~8”晶圆适用 | • 可选配CCD检查功能 |
| • 可处理薄晶圆 | • 可选配显微镜检查功能 |
| • 兼容晶圆料篮、晶圆盒装卸料 | • 工控机+Windows系统 |
| • 智能测绘料篮内晶圆 | • SECS/GEM或简易联网能力 |
| • 多种晶圆搬运技术可选 | • 超小占地面积设计 |
| • 晶圆分选、倒片功能 |
| • 4”~8”晶圆适用 | • 可选配CCD检查功能 |
| • 可处理薄晶圆 | • 可选配显微镜检查功能 |
| • 兼容晶圆料篮、晶圆盒装卸料 | • 工控机+Windows系统 |
| • 智能测绘料篮内晶圆 | • SECS/GEM或简易联网能力 |
| • 多种晶圆搬运技术可选 | • 超小占地面积设计 |
| • 晶圆分选、倒片功能 |